연-구-실-

  나노전자물리학과  연구실


본 실험실은 영구자석, 자기메모리 및 기록매체, 자기헤드, 자기센서 등 자성재료에 대한 기초적인 성질을 연구하고 있다.
전통적인 직접합성법, Sol-gel법, 고온열분해법 등으로 제조된 분말시료와, Sputter, PLD, MBE 등의 박막증착 System으로 제조된 박막 시료는 X-ray 회절기, AFM, SEM 같은 장비를 이용하여 결정구조 및 표면 상태를 조사하고, 자기적 성질에 대한정보는 spectrometer와 VSM실험으로부터 얻는다.
 
지도교수 : 김철성, 김삼진, 심인보 교수님
 
주요 연구내용
 
- Multiferroic Materials
- Ferrites
- Amorphous & Nanocrystal Structure
- Transparent Conductivity Oxide Materials
- CMR
- Thin Film
- Garnet Magnets
- Charge Ordering
 
주요장비
 
- Sol-gel 실험실
- 고온 전기로(1700℃)
- DC/RF-Sputter
- PLD (Pulsed Laser Deposition)
- MBE (Molecular Beam Epitaxy)
- TG-DTA
- Spectrometer
- PPMS (Physical Property Measurement System)


기하광학을 중심으로 다양한 광학계의 설계 메커니즘을 연구하는 실험실로써 설계의 이론을 연구하고 그 이론을 바탕으로 설계프로그램을 통한 실질적 광학 설계를 하고 있습니다. 또한 두 달에 한 번씩 연구실 자체적으로 세미나를 개최하여 현재 기업체와 연구소에서 일하시는 선배들로부터 최신기술과 연구동향을 접하고 있습니다.
 
지도교수 : 윤성로 교수님
 
주요 연구내용
 
- 렌즈나 거울을 이용하여 광학계를 설계하는 결상광학
- LED 및 BLU를 설계하는 조명광학
- 적외선을 이용한 열상광학
- 안광학
 
주요장비
 
- 광학 설계 프로그램 (Code V : ORA.)
- 조명 설계 프로그램 (Light Tools : ORA)
- Optical table, Optical elements


우리 실험실에서는 반도체 물리실험실과 반도체 물리 분석실 2개의 실험 연구실을 보유중에 있으며 반도체 물리 실험실에서는 반도체 공정에 주로 사용되는 금속, 저유전율 박막 및 확산방지막 증착 실험과 45nm particle을 제거하기 위한 반도체 세정 실험을 실시하고 있으며, 반도체 물리 분석실에서는 소자의 전기적 특성 분석, 나노입자의 물성분석 및 외부 연구 기관과 공동으로 시료 표면 분석을 실시하고 있다.
 
지도교수 : 이창우 교수님
 
주요 연구내용
 
- Cu 및 저유전율 (low-k) 박막의 확산방지를 위한 확산방지막 연구
- 32nm particle 제거를 위한 차세대 반도체 세정 연구
- 나노입자 및 나노와이어의 표면 및 계면특성 분석 연구
- 나노소자의 특성분석 연구
- 나노 트리볼로지(Nano tribology)를 이용한 나노 및 바이오 소자의 mechanical properties
특성분석 연구
 
주요장비
 
- rf magnetron sputter (4 target)
- PECVD ( 2 set)
- 약액활성화장치 (PLVA; plasma liquid vapor activation system)
- WET-SPM (AFM, EFM, KFM, LFM, MFM, 진공 측정, 습도 및 온도변화가능)
- Nano-Indenter system
- Raman spectroscope
- 소자의 전기적 측정을 위한 각종 계측기


Nanotemplate 방식을 이용한 다양한 구조의 나노소자 제작과 함께 나노디바이스의 물성을 분석하는 연구를 진행하고 있다. 또한, 나노시스템에 적합한 Optical Beam Deflection 방식과 같은 광학적인 고감도 변위측정방법을 개발하고 있으며, 이러한 연구결과를 바탕으로 앞으로의 나노기술 분야에 응용할 수 있는 방법을 모색하고 있다.
 
지도교수 : 고태준 교수님
 
홈페이지 : http://nano.kookmin.ac.kr
 
주요 연구내용
 
- Anodize Aluminium Oxide(AAO) 기판을 이용한 다양한 나노구조체 제작
- 나노미터 영역에서 일어나는 나노구조체의 물성 분석
- 나노소자의 광학적 변위 측정방법 개발 및 제작
- 나노소자의 동역학적, 물리학적 특성 분석 및 응용
 
주요장비
 
- Anodization Facility with Low Temperature Circulator
- Thermal Evaporator with in-situ Film Resistance Measurement Setup
- Optical Displacement Detection System with Quadrant Photodetector
- High Frequency Network Analyzer